प्रक्रिया कूलिङ पानी प्रणाली निम्न भागहरू समावेश छन्: चिलर, पम्प, गर्मी एक्सचेन्जर, पानी ट्याङ्की, फिल्टर, र प्रक्रिया उपकरण।
पानी चिलर: चिसो पानी प्रणालीको लागि चिसो स्रोत प्रदान गर्नुहोस्।
पानी पम्प: शीतलन प्रणालीमा यसको परिसंचरण सुनिश्चित गर्न पानीलाई दबाब दिनुहोस्।
हीट एक्सचेन्जर: चिसो पानी प्रणाली र चिसो पानी प्रणाली बीचको तातो आदानप्रदान गर्न यो उपकरण प्रयोग गर्नुहोस् प्रणालीको लोड अन्त्यमा उत्पन्न भएको तापलाई चिसो पानी प्रणालीमा स्थानान्तरण गर्न।त्यहाँ धेरै प्रकारका ताप एक्सचेंजरहरू छन्, जसलाई तिनीहरूको फारम अनुसार खोल-र-ट्यूब प्रकार, प्लेट प्रकार, प्लेट-फिन प्रकार, ताप पाइप प्रकार, आदिमा विभाजन गर्न सकिन्छ।तुलनामा, प्लेट हीट एक्सचेन्जरमा सानो फुटप्रिन्ट र ठूलो तातो स्थानान्तरण क्षेत्रका फाइदाहरू छन्।ठाउँ र क्षेत्र को लागत विशेषताहरु लाई विचार गर्दैसेमीकन्डक्टर प्लान्ट, जमिनको क्षेत्रफल र इन्जिनियरिङ लागत बचत गर्न सानो फुटप्रिन्ट भएको उपकरणलाई प्राथमिकता दिइन्छ।
पानीको ट्याङ्की: खुला प्रणालीमा रहेको पानी ट्याङ्कीले मुख्यतया पानीको स्रोतको पूरकको भूमिका खेल्छ।बन्द प्रणालीमा रहेको पानी ट्याङ्कीले विस्तारित पानी ट्याङ्की रोज्नुपर्छ।विस्तारित पानी ट्याङ्कीमा तीनवटा कार्यहरू छन्।एउटा प्रणालीमा पानीको विस्तार र संकुचन समावेश र क्षतिपूर्ति हो;अर्को भनेको बन्द परिसंचरण पानी प्रणालीलाई स्थिर दबाब प्रदान गर्नु र प्रणाली स्थिरीकरणमा भूमिका खेल्नु हो;तेस्रो प्रणाली पानी पम्पको संकेतको रूपमा हो, सामान्यतया विस्तार ट्याङ्कीले प्रणालीको पानी पम्प सुरु वा बन्द गर्न संकेत पठाउँछ।
फिल्टर: ठोस कण फिल्टर गर्नुहोस्प्रक्रियामा दुई अपेक्षाकृत स्वतन्त्र प्रणालीहरू छन् शीतल पानी प्रणाली, चिसो पानी र चिसो पानी।चिसो पानी चिलरद्वारा प्रदान गरिन्छ, र चिसो पानी र चिसो पानीले चिसो पानीलाई चिसो पार्न र उपकरणको तापक्रम घटाउनको लागि तातो आदानप्रदान गर्दछ।चिसो पानीको मात्रा नियन्त्रण गरेर चिसो पानीको तापक्रम सुनिश्चित गर्न पानीलाई उत्पादन उपकरणबाट वाटर पम्प मार्फत तातो एक्सचेन्जरमा पम्प गरिन्छ, र त्यसपछि फिल्टर पास गरेपछि उत्पादन लाइन उपकरणमा पठाइन्छ, र त्यसपछि फिर्ता। पानी पम्प।गठन प्रक्रिया चिसो पानी बारम्बार संचार हुन्छ।चिसो पानी सिधै चिलरमा फर्काइन्छ।