स्वचालित तापमान र आर्द्रता नियन्त्रण

सफा कोठाको तापक्रम र आर्द्रता मुख्यतया प्रक्रिया आवश्यकताहरू अनुसार निर्धारण गरिन्छ, तर प्रक्रिया आवश्यकताहरू पूरा भएको अवस्थामा, मानव आरामलाई ध्यानमा राख्नुपर्छ।हावा सरसफाई आवश्यकताहरु मा वृद्धि संग, एक प्रवृत्ति छ कि प्रक्रिया को तापमान र आर्द्रता मा अधिक र अधिक कडा आवश्यकताहरु छ।

मेसिनिङको शुद्धता झन्झन् राम्रो हुँदै गइरहेको छ, तापक्रम उतार-चढाव दायराका लागि आवश्यकताहरू साना र सानो हुँदै गइरहेका छन्।उदाहरणका लागि, ठूलो मात्रामा एकीकृत सर्किट उत्पादनको लिथोग्राफी एक्सपोजर प्रक्रियामा, डायाफ्रामको सामग्रीको रूपमा गिलास र सिलिकन वेफरको थर्मल विस्तार गुणांक बीचको भिन्नता सानो र सानो हुन आवश्यक छ।100μm को व्यास भएको सिलिकन वेफरले तापमान 1 डिग्रीले बढ्दा 0.24μm को रैखिक विस्तार गर्नेछ।त्यसैले, यो ± 0.1 डिग्री को एक स्थिर तापमान हुनुपर्छ।एकै समयमा, आर्द्रता मान सामान्यतया कम हुनु आवश्यक छ, किनभने एक व्यक्ति पसिना पछि, उत्पादन प्रदूषित हुनेछ, विशेष गरी सोडियम देखि डराउने अर्धचालक कार्यशालाहरूको लागि, यस प्रकारको सफा कार्यशाला 25 डिग्री भन्दा बढी हुनु हुँदैन।

अत्यधिक आर्द्रताले थप समस्याहरू निम्त्याउँछ।जब सापेक्षिक आर्द्रता 55% भन्दा बढी हुन्छ, कूलिंग पानीको पाइपको भित्तामा संक्षेपण हुन्छ।यदि यो सटीक उपकरण वा सर्किटमा हुन्छ भने, यसले विभिन्न दुर्घटनाहरू निम्त्याउँछ।सापेक्षिक आर्द्रता ५०% हुँदा खिया लाग्न सजिलो हुन्छ।थप रूपमा, जब आर्द्रता धेरै उच्च हुन्छ, सिलिकन वेफरको सतहमा रहेको धुलो हावामा पानीका अणुहरूले सतहमा रासायनिक रूपमा सोस्नेछ, जुन हटाउन गाह्रो हुन्छ।सापेक्षिक आर्द्रता जति बढी हुन्छ, आसंजन हटाउन गाह्रो हुन्छ, तर जब सापेक्षिक आर्द्रता 30% भन्दा कम हुन्छ, इलेक्ट्रोस्टेटिक बलको कार्यको कारणले कणहरू पनि सतहमा सजिलै सोस्छन्, र ठूलो संख्यामा अर्धचालक। यन्त्रहरू ब्रेकडाउनको लागि प्रवण छन्।सिलिकन वेफर उत्पादनको लागि उत्तम तापमान दायरा 35 ~ 45% हो।